熱偶真空計(jì)利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象，可能測(cè)量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計(jì)測(cè)得細(xì)線(xiàn)溫度同時(shí),也受到細(xì)線(xiàn)本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡(jiǎn)單，價(jià)格低廉。

熱偶真空計(jì)工作原理：

熱電偶接在白金或鎢的細(xì)線(xiàn)上。這段細(xì)線(xiàn)通過(guò)電流後會(huì)發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過(guò)周?chē)鷼怏w分子的熱傳導(dǎo),或細(xì)線(xiàn)本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計(jì)的原理。

如果保持細(xì)線(xiàn)的發(fā)熱量即保持一定的電流,則周?chē)鷫毫Ω叩臅r(shí)候氣體奪走的熱量較多,致使細(xì)線(xiàn)的溫度較低。反過(guò)來(lái)周?chē)鷫毫Φ偷臅r(shí)候細(xì)線(xiàn)的溫度會(huì)升高。這種溫度的變化通過(guò)熱電偶檢測(cè)出來(lái),將熱電偶的起電力換成壓力之後即可知真空腔內(nèi)的壓力。