熱偶真空計(jì),也被稱為熱傳導(dǎo)真空計(jì)或皮拉尼真空計(jì),是一種用于測(cè)量低至中等真空度(大約10^3至10^-3帕斯卡)的儀器。這種真空計(jì)的工作原理是基于氣體的熱導(dǎo)率與壓力之間的關(guān)系。在真空環(huán)境中,氣體的分子數(shù)量減少,因此其熱導(dǎo)率會(huì)降低,通過測(cè)量這種熱導(dǎo)率的變化來確定真空度。
熱偶真空計(jì)主要由兩個(gè)主要部分組成:一個(gè)是加熱元件,通常是一個(gè)熱絲;另一個(gè)是溫度傳感器,通常是熱電偶。這兩個(gè)部分被封裝在一個(gè)封閉的容器內(nèi),該容器與需要測(cè)量的真空系統(tǒng)相連。
1.加熱元件:加熱元件通常是一根細(xì)絲,如鎢絲,它通過電流加熱到一定的溫度。這個(gè)溫度通常遠(yuǎn)高于周圍環(huán)境的溫度。
2.溫度傳感器:溫度傳感器是一個(gè)熱電偶,它能夠準(zhǔn)確地測(cè)量加熱元件的溫度。當(dāng)氣體壓力變化時(shí),加熱元件的溫度也會(huì)隨之變化,這種變化會(huì)被熱電偶檢測(cè)到。
工作原理:
在真空環(huán)境下,加熱元件的熱量主要通過氣體分子傳遞到周圍環(huán)境。當(dāng)氣體的壓力較高時(shí),氣體分子較多,熱傳導(dǎo)效率較高,加熱元件的溫度相對(duì)較低。反之,當(dāng)氣體壓力較低時(shí),氣體分子較少,熱傳導(dǎo)效率降低,加熱元件的溫度相對(duì)較高。
熱電偶測(cè)量加熱元件的溫度并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào),這個(gè)電信號(hào)與氣體的壓力有直接關(guān)系。通過校準(zhǔn),可以將這個(gè)電信號(hào)轉(zhuǎn)換為具體的氣體壓力值,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的測(cè)量。
熱偶真空計(jì)在低至中等真空范圍內(nèi)具有很高的測(cè)量精度;與其他類型的真空計(jì)相比,穩(wěn)定性較好,不易受到外界因素的影響;對(duì)壓力變化的響應(yīng)速度較快,適合動(dòng)態(tài)測(cè)量,廣泛應(yīng)用于各種需要準(zhǔn)確測(cè)量真空度的場(chǎng)合,如實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、材料研究等領(lǐng)域。它的高精度和穩(wěn)定性使得它成為這些領(lǐng)域不可少的測(cè)量工具。